公司简介
三英精控(天津)仪器设备有限公司是一家专注于精密运动控制技术和产品的开发,并致力于为科学研究、创新研发及高端仪器、设备的制造等提供系统的技术解决方案与集成的专业制造商。在纳米运动控制技术方面具有先进的技术和经验,并具有该类技术的自主知识产权。核心技术集精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密集成等各领域的技术于一体,综合技术指标已达到先进水平。研发生产的产品涵盖大行程高精度运动平台、纳米和亚纳米运动控制平台、纳米位移电容传感器、精密运动控制集成系统等产品。
半导体装备精密运动控制解决方案:
半导体仪器和设备供应商面临重大挑战。所需的运动控制系统需要满足纳米级精度及稳定性、可靠性等严苛技术要求。
核心技术:1)纳米运动控制技术
自主可控的精密运动控制核心技术体系,包含精密传感、精密驱动、精密机械、精密控制、精密测量精密集成,并参与制订两项国家标准。
2)大行程高精度气浮平台技术
高动态响应,纳米级气膜稳定性及平稳度。
3)宏微结合运动控制技术
丰富的宏动微动项目经验,从设计到集成制造环节的技术和相应的检测手段及验证方法。
典型应用:光刻设备、晶圆键合装备、晶圆检测装备、纳米压印装备