公司简介
厦门韫茂科技有限公司,作为一家以纳米级薄膜沉积工艺技术为核心的,多领域全栈式薄膜沉积方案供应商,旨在为客户提供全方位的技术解决方案,以及先进的纳米材料薄膜沉积装备。韫茂科技成立于2018年,以全球高端设备的领军者为目标,以高层次人才为核心,组建了国际化、专业化的研发团队。团队成员拥有丰富的薄膜沉积工艺,及设备开发产业化经验。公司目前已拥有各类专利技术近50项,入选国家级高新技术企业及厦门专精特新技术企业。
作为国内高端薄膜沉积设备的开创者与引领者,韫茂科技不断突破技术壁垒,专注于锂电池、光伏、Mini/Micro LED、先进光学、碳化硅、集成电路、超导材料和器件等前沿泛半导体及新能源薄膜沉积设备的研发与生产。目前已形成了以ALD原子层成膜系统、PVD物理气相沉积系统、CVD 化学气相系统、Epitaxy外延炉等一系列薄膜沉积设备为核心的产品矩阵。